光刻胶与电镀液扩产，芯刻微上海化工区项目启动

上海芯刻微是上海新阳半导体材料股份有限公司（证券代码：300236）全资子公司。项目原规划总投资约5.8亿元，2026年8月上海新阳董事会审议通过产能布局调整及追加投资议案，将总投资上调至10.5亿元，资金来源为自有及自筹资金

产能结构同步调整：I线、KrF、ArF干法/湿法光刻胶系列500吨/年；光刻胶稀释剂系列5000吨/年；高选择比氮化钛刻蚀液系列5000吨/年；干法蚀刻清洗液系列15000吨/年；新增芯片铜互联电镀液产品5000吨/年

调整方向清晰——光刻胶稀释剂产能下调一半，新增电镀液，整体向电镀液与蚀刻清洗液倾斜。这两类正是上海新阳当下国产替代增速占优的产品

上海化工区正聚焦光刻胶及配套材料、电子特气、湿电子化学品三大领域，推进上海电子化学品专区建设，目标打造创新引领、绿色低碳、精细高效的世界级化工园区

项目选址化工区，战略意图明确：中芯国际、华虹集团等国内晶圆代工双子星相当比例产能就在上海，工厂建在化工区等于把仓库修在客户门口，送样、反应、协同效率显著提升

2026年5月20日，中芯国际、华虹集团牵头，联合上海华谊、上海泓明、上海化学工业区企业发展公司，成立上海电子材料国际供应链中心，就落户在化工区，为材料认证铺就近道

集成电路关键工艺材料长期是国产化的薄弱一环，光刻胶、湿电子化学品、电镀液等环节进口依赖度高。此类项目的集中落地，是补全产业链短板的具体动作

对上海化工区而言，芯刻微项目补强了电子化学品专区的材料供给能力，与区内上下游形成研发、中试、量产、验证的闭环，提升区域承接晶圆厂配套的水平

在各地竞逐集成电路的背景下，上海用专区、供应链中心、龙头扩产的组合，把材料环节的系统优势做厚，比单点补贴更具持续吸引力

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